Marknadens största urval
Fri frakt över 199 kr
Snabb leverans
Hjälp
Logga in
  1. Hem
  2. Böcker
  3. Företagande & lärande
  4. Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

av Kristin De Meyer, Pilar Gonzalez Ruiz, Ann Witvrouw

del av Springer Series in Advanced Microelectronics-serien

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors av Kristin De Meyer
Om Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 m Cu-backend CMOS.

Visa mer
  • Språk:
  • Engelska
  • ISBN:
  • 9789400767980
  • Format:
  • Inbunden
  • Sidor:
  • 199
  • Utgiven:
  • 30. juli 2013
  • Utgåva:
  • 2014
  • Mått:
  • 155x235x14 mm.
  • Vikt:
  • 4498 g.
  Fri leverans
Leveranstid: 2-4 veckor
Förväntad leverans: 17. december 2024

Om Kristin De Meyer

Se alla böcker av Kristin De Meyer

Beskrivning av Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 m Cu-backend CMOS.

Användarnas betyg av Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors



Andra köpte även...
Hitta liknande böcker
Boken Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors finns i följande kategorier:

Gör som tusentals andra bokälskare

Prenumerera på vårt nyhetsbrev för att få fantastiska erbjudanden och inspiration för din nästa läsning.