This thesis develops next-generation multi-degree-of-freedom gyroscopes and inertial measurement units (IMU) using micro-electromechanical-systems (MEMS) technology. It covers both a comprehensive study of the physics of resonator gyroscopes and novel micro/nano-fabrication solutions to key performance limits in MEMS resonator gyroscopes.
Prenumerera på vårt nyhetsbrev för att få fantastiska erbjudanden och inspiration för din nästa läsning.
Genom att registrera dig accepterar du vår personuppgiftspolicy.